星空体育电竞:大和江东新材请求陶瓷真空卡盘的激光干涉仪可调检测治具及办法专利能习惯不同孔位和尺度的陶瓷真空卡盘设备与检测

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  专利摘要显现，本发明触及半导体技术领域，详细触及一种陶瓷真空卡盘的激光干涉仪可调检测治具及检测办法，其间陶瓷真空卡盘的激光干涉仪可调检测治具包含起浮调理组织，包含起浮支撑盘，所述起浮支撑盘经过若干组调理旋钮和锁紧设备衔接外概括盘，所述外概括盘衔接真空腔体并与卡盘之间构成真空腔室；所述真空腔体内部设置若干个旋转下压气缸，经过若干根弹性支撑杆衔接快换支撑盘；真空模组，其经过气管与所述真空腔室和外部气源连通；升降模组，其经过底板可拆卸衔接在光学平台上；微调模组，其与所述升降模组固定衔接，所述起浮调理组织固定衔接在所述起浮模组上。本发明中的检测治具选用模块化规划，可以习惯不一样孔位和尺度的陶瓷真空卡盘设备与检测。

  天眼查资料显现，杭州大和江东新材料科技有限公司，成立于2014年，坐落杭州市，是一家以从事非金属矿藏制品业为主的企业。企业注册资本6630万美元。经过天眼查大数据分析，杭州大和江东新材料科技有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目6次，产业线条，此外企业还具有行政许可12个。

  声明：商场有危险，出资需谨慎。本文为AI根据第三方数据生成，仅供参考，不构成个人出资主张。